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GaN基微腔传感器悬空隔膜的力电转换的ANSYS研究
为了深入研究氮化镓薄膜的压电效应和机械特性,基于气体直接吸收红外辐射的原理,将基于氮化镓悬空隔膜的充气微腔红外传感器项目作......
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ANSYS
14.
机械应力
压电效应
thin films
output voltage
ANSYS 14. 0
mechanical f
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