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200mm硅片相关论文
大尺寸硅片抛光前道工序对抛光效果的影响研究
随着汽车电子,消费电子和物联网市场等多样化芯片需求的快速增长,200mm硅片在半导体市场中有相当高的占有率。随着集成电路特征线......
学位
200mm硅片
局部平整度
化学机械抛光
表面轮廓
双面研磨
化学腐蚀
超精密磨削
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