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InP基短波长(3-5um)量子级联激光器的研究
激射波长为3-5um(大气窗口)的激光光源,一直是科研、民用和国防等领域的研究热点。其中4.6um光源是用来干扰热导导弹(heat seeking......
学位
短波长量子级联激光器
InP基
ICP干法刻蚀
3-5um
工艺
先进设计
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