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6-三硅杂相关论文
CVD SiC先驱体热分解过程的研究
介绍了各种化学气相沉积(CVD)碳化硅(SiC)先驱体的性质,比较了其沉积过程和沉积产物的差异,并利用HyperChem软件对2,4,6-三甲基-2,4,6-三硅杂......
期刊
化学气相沉积
碳化硅
热分解
先驱体
甲基三氯硅烷
2
4
6-三甲基-2
4
6-三硅杂
庚烷
chemical vapor deposition
si
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