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LPEGaAs/Ga_(1-X)A1_xAs多层光阴极材料均匀性研究
用LPE法生长了表面光亮、性质均匀的P-Ga_(1-x)A1_xAs/p-GaAs/p一Ga_(1-x)A1_xAs/n-GaAs(衬底)多层异质材料;研究了材料的电学性质、掺杂剂分配,探讨了外延层的厚度均匀性、组份均匀性并观......
期刊
LPEGaAs
均匀性
A1_xAs
光阴极
掺杂剂
外延层
第三代
电学性质
扩散长度
表面形貌
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