Ag-TiN复合膜相关硕士博士期刊学术论文

利用射频磁控溅射技术，使用TiN化舍物靶，以不锈铜为基底在不同负偏压下沉积TiN薄膜，并通过共溅射获得掺Ag的Ag-TiN复合膜．分别利用XRD......