Al-Fe合金薄膜相关论文
为了防止信号延迟,要求TFT-LCD布线膜具有低电阻率的特性十分重要.本文采用磁控溅射法制备了不同成分的Al-Fe合金薄膜,用光刻等方......
随着薄膜晶体管型液晶显示器(TFT-LCD)向大型化、高清晰化发民,对铝合金电极布线膜的主要性能要求是低电阻率和良好的抗小丘生长性......
介绍一个最佳掺杂含量表达式,应用此表达式分析计算了Al-Fe合金布线材料Fe掺杂最佳含量,定量计算的结果与实验数据基本符合.......
利用磁控溅射法制备了Al-Fe-Sn合金薄膜,并综合利用透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射仪( XRD)和光电子能谱仪(XPS)等测试手段,获得了溅射......