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以AlN作为靶材,使用射频磁控溅射法在Si(100)和玻璃衬底上,在纯氮气气氛条件下制备得到AlN薄膜,并研究了衬底温度对薄膜的结构,形......
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以AlN作为靶材，使用射频磁控溅射法在Si（100）和玻璃衬底上，在纯氮气气氛条件下制备得到AlN薄膜，并研究了衬底温度对溥膜的结构，形貌和性......
