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Al_2O_3薄膜相关论文

氟化镁基底上HfO_2中间层对Al_2O_3薄膜微观组织和力学性能的影响（英文）

采用电子束蒸镀技术在氟化镁基底上制备了单层Al_2O_3薄膜和含有HfO_2中间层的HfO_2/Al_2O_3双层薄膜。在空气中对所制备的薄膜进......

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