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在3μm工艺条件下开发了一套实用的互补双极工艺(CB)。利用此工艺制造出特征频率分别为3.2GHz和1.6GHz的高性能NPN与PNP管,并成功地集成在压摆率高达2200V/μs的高速......
介绍了双极工艺基区和发射区结构模拟所涉及的物理模型,包括与单种工艺有关的杂质分凝模型、硼的间隙扩散模型及高浓度磷扩散模型等......