传统的C-MEMS工艺以光刻胶作为前驱体，结合光刻和高温热解的步骤，可以得到良好的导电、导热、优良生物兼容性及化学随性的碳微结构。......

采用C-MEMS（carbon-microeletromechanic system）新型工艺制备碳微电极,将光刻胶经光刻、热解而得到导电碳微电极图形.利用国产BP212......