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直拉式单晶硅生长炉的关键技术研究
信息产业与新型绿色能源产业是目前人类的两大支柱产业,做为两大产业的基础材料单晶硅材料的制备也尤为重要。目前国内用于大规模......
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单晶硅生长炉
全自动控制
单晶硅生长工艺
CCD测量
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COP缺陷
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