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CVDSnO_2薄膜吸附的XPS研究
利用XPS方法,分析四种由不同CVD温度(250~550℃)淀积在n-Si衬底上形成异质结的SnO_2透明多晶薄膜的表面.定性和半定量分析表明,表面存在三种氧物种,在加热吸附H_2前......
期刊
CVDSnO_2
XPS
制备温度
气敏
吸附反应
异质结构
吸附机理
气体传感器
光吸收系数
淀积
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