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CZ法单晶硅相关论文
四极磁场下CZ法单晶硅生长三维数值模拟
本文在对磁控CZ法晶体生长机理认识透彻的基础上,针对磁控CZ法在工业拉制单晶硅过程中出现的如CUSP磁场线圈结构复杂,垂直磁场只能抑......
学位
CZ法单晶硅
晶体生长
四极磁场
数值模拟
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