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CuNiIn薄膜相关论文
脉冲偏压对直流磁控溅射制备CuNiIn薄膜过程中钛合金基体的影响
用直流磁控溅射技术制备CuNiIn 薄膜,研究了电源脉冲偏压对钛合金基体结构和力学性能的影响.采用热电偶丝实时监控沉积过程中的基......
期刊
CuNiIn薄膜
磁控溅射
脉冲偏压
基体温升
组织性能
CuNiIn film
Magnetron Sputtering
Pulse bias
Substra
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