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介绍了一种新型微机械隧道振动陀螺仪的设计和工艺制备，该陀螺仪采用平行梳齿驱动和面外振动框架的方式分别作为质量块的振动和恒隧......
介绍了一种利用隧道效应所具有的高位移敏感特性来获得较高灵敏度的微机械隧道振动陀螺仪的设计和工艺制备，该陀螺仪分别采用扇形梳......
为了提高硅微谐振式加速度计性能,从一种基于DDSOG(Deep Dry Silicon on Glass)工艺的硅微谐振式加速度计样机入手,介绍了加速度计......
