ErAlN薄膜相关论文
近来,众多MEMS器件,比如谐振器、滤波器、开关、能量收集器、超声换能器、麦克风、应力传感器、化学传感器和加速计等,在人们的生......
近些年来,声发射检测技术飞速发展,在一定程度上可以反映国家的工业发展水平,重要性不言而喻。声发射源产生的信号可通过介质传播......
采用射频反应磁控溅射在蓝宝石(0001)衬底上沉积生长了掺杂Er的AlN薄膜。利用X线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜......
