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Design,analysis and fabrication of floating electrode unidirectional SAW actuator for micro optical
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MEMS
SAW actuator
FEUDT
声表面波气体传感器优化设计及敏感膜制备
当前,人们对有害或危险气体的检测格外重视,在开发新型气体传感器的同时,也对新的传感原理进行不断的探索。其中声表面波(SAW)气体......
学位
表面波
气体传感
气体监测
TNT检测
FEUDT
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