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FN-DLC薄膜相关论文
FN-DLC介电性与场发射性研究
随着超大规模集成电路(VLSI)的发展,器件尺寸越来越小,由此导致RC延时成为制约IC性能提高的技术瓶颈,FN-DLC有着较低的介电常数与良好的......
学位
FN-DLC薄膜
FDLC薄膜
掺杂改性
介电性
场发射性
高热稳定性
化学气相沉积
射频功率对FN-DLC薄膜粘附性的影响
利用射频等离子体增强化学气相沉积法,在单晶硅(100)晶面上制备了掺氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜样品。用傅立叶变换吸收红外光谱(F......
期刊
FN-DLC薄膜
化学键
粘附性
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