FN-DLC薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

FN-DLC薄膜相关论文

FN-DLC介电性与场发射性研究

随着超大规模集成电路（VLSI）的发展，器件尺寸越来越小，由此导致RC延时成为制约IC性能提高的技术瓶颈，FN-DLC有着较低的介电常数与良好的......

学位

FN-DLC薄膜 FDLC薄膜掺杂改性介电性场发射性高热稳定性化学气相沉积

射频功率对FN-DLC薄膜粘附性的影响

利用射频等离子体增强化学气相沉积法,在单晶硅(100)晶面上制备了掺氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜样品。用傅立叶变换吸收红外光谱(F......

期刊

FN-DLC薄膜化学键粘附性

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