HFCVD法相关论文
以甲烷、硅烷和氢气为反应气体,采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法在单晶硅衬底上沉积纳米晶体碳化硅(SiC)薄膜.通过X射线衍射(XRD)和......
热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapor Deposition,HFCVD)法在特种切削刀具上沉积金刚石涂层有增强刀具耐磨损性能、延长......
...
热丝化学气相(CVD)法沉积金刚石具有其它沉积方法所无法比拟的优势而受到重视,然而在高温沉积过程中灯丝容易发生形变和挥发所带来......
...
ＨＦＣＶＤ法合成的金刚石中钨热解丝在沉积过程中因碳化而产生裂纹，在停机操作时钨热解丝因骤冷产生了热应力而断裂，停机操作前采用碳化钨还的......
掺硼金刚石(BDD)涂层电极具有电势窗口宽、析氧过电位高、背景电流低、稳定性高等特性,在对实际废水的处理过程中具有目标降解物范......
本工作研究了在热丝(HF)CVD法生长金刚石薄膜中的热丝技术,给出了一种通常作为热丝的钨丝的实用性预处理方法,并且研究了热丝温度......
分析研究了热丝化学汽相沉积(HFCVD)法工艺参数的变化对SiC薄膜质量的影响.结果表明 ,合理的选取工艺参数,可在较低温度(700～900℃)......
金刚石单晶微粉通常指粒度在0.1~54μm之间的超细磨料，主要用于工件表面的超精密光整加工。目前大部分人造单晶金刚石都是采用静态......
