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提高HFCVD法合成金刚石中钨热解丝寿命的措施
提高HFCVD法合成金刚石中钨热解丝寿命的措施
来源 :理化检验:物理分册 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ymh19900920
【摘 要】
:
HFCVD法合成的金刚石中钨热解丝在沉积过程中因碳化而产生裂纹,在停机操作时钨热解丝因骤冷产生了热应力而断裂,停机操作前采用碳化钨还的技术及减缓钨丝冷却速度,可将钨丝的寿命提高
【作 者】
:
邱万奇
刘正义
陈剑惠
周克崧
代明江
王德政
丁谦
【机 构】
:
华南理工大学,广州有色金属研究院
【出 处】
:
理化检验:物理分册
【发表日期】
:
1999年6期
【关键词】
:
钨丝
碳化
断裂
金刚石膜
HFCVD法
Tungsten filamentCarbonizeFracture
【基金项目】
:
广东省自然科学基金资助项目:B6-102-234
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HFCVD法合成的金刚石中钨热解丝在沉积过程中因碳化而产生裂纹,在停机操作时钨热解丝因骤冷产生了热应力而断裂,停机操作前采用碳化钨还的技术及减缓钨丝冷却速度,可将钨丝的寿命提高3-5倍。
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