He和H离子注入相关论文
高剂量的轻气体离子(如He、H)注入单晶Si在随后的热退火过程中可以在材料内部产生气泡还可以导致表面发泡、剥落等表面损伤。轻气......
高剂量轻气体离子注入Si基材料可以诱发一系列现象。如气泡、表面发泡和表面剥离等。研究这些现象对于气体离子与固体相互作用的基......
