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IC版图数据相关论文

数字光刻系统的IC版图数据接口算法的研究

针对基于数字微镜阵列（DMD）的数字无掩模光刻系统,提出了一种新型IC版图数据接口转化算法,建立了版图数据到曝光数据的转化接口.该接......

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IC版图数据接口无掩模光刻单次曝光精度矢量几何计算 DMD IC layout data interface maskless lithography

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