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磁控溅射制备Nb掺杂IZO薄膜光电学性能研究
通过磁控溅射方法制备一种新型薄膜晶体管有源层材料Nb掺杂的氧化铟锌(IZO)非晶薄膜(a-INZO)。运用XRD、光致发光、Hall测试等检测......
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无机非金属材料
Nb掺杂IZO
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光致发光
迁移率
磁控溅射
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