IU特性相关硕士博士期刊学术论文

本文利用脉冲直流反应磁控溅射的方法制备了五氧化二钽(Ta2O5)薄膜,俄歇电子能谱仪测试了薄膜的成分含量,椭偏仪测试了Ta2O5薄膜的......