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辐射加固的JFET/SOS:工艺及γ辐射效应
本文研究了制作 J F E T/ S O S(蓝宝石上外延硅结型场效应晶体管)的方法,采用扩散形成栅极 p+ n 浅结以及复合注入的方法形成导电沟道,在不同的......
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