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Jones光瞳相关论文
NA1.35投影光刻光学系统偏振像差的优化
为了实现NA1.35投影光刻光学系统高质量成像,在设计过程中除了控制波像差,还需进一步优化光学系统的偏振像差。利用Jones光瞳和物......
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光学设计
偏振像差
薄膜光学
Jones光瞳
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polarization aberration
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