LPCVD方法相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

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基于MEMS技术纳米多晶硅薄膜压力传感器制作及特性研究

随着纳米技术发展，纳米多晶硅薄膜表现出优异的压阻特性，本文基于MEMS技术在<100>晶向单晶硅衬底上设计、制作纳米多晶硅薄膜压力传......

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