采用小光斑激光预处理扫描SiO2单层膜，利用激光损伤阈值的光斑效应对预处理前后SiO2单层膜中缺陷的影响进行分析，并引入缺陷阈值和缺......

采用不同的光斑移动距离，对电子柬蒸发制备的HfO2／Si02多层高反膜进行了单步及多步预处理。结果表明：为了使薄膜不产生损伤，预处理最高......

分析了不同预处理方式下缺陷上的激光能量的覆盖特点。理论分析表明,相同预处理效率下,单步预处理缺陷上激光能量覆盖率优于多步预......

Laser conditioning is an effective method to improve the laser damage threshold of HfO2/SiO2 multilayer films prepared b......