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MEMS有限元分析相关论文
电容式微传声器的性能模拟与优化设计
针对所研制的电容式微传声器在理想模式下的工作原理,建立了有限元分析模型和声-电模塑,从理论上分析了器件的机械性能、灵敏度以及......
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电容式微传声器
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