电容式微传声器相关论文
提出了一种新的工艺方法制备硅基电容式微传声器 .用氧化多孔硅作牺牲层制备空气隙 ,用约 15μm厚的浓硼掺杂硅作为微传声器的刚性......
基于微电子机械系统(MEMS)技术的微传声器是当前国际上研究的热点。使用 MEMSI艺制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力,极大的降低了膜的机械......
多孔硅具有选择性生长以及可以迅速释放的特性,是MEMS工艺中很好的牺牲层材料.探讨了多孔硅牺牲层工艺的特点,并通过实验证明了其......
本文对近几年来运用单片制备方法,采用硅微机械加工技术(MEMS)工艺研制的电容式微传声器进行了详细描述.通过分析和研究指出,将微......
针对所研制的电容式微传声器在理想模式下的工作原理,建立了有限元分析模型和声-电模塑,从理论上分析了器件的机械性能、灵敏度以及......