MEMS可变电容相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

MEMS可变电容相关论文

微机械可变电容制作工艺中的牺牲层释放和残余应力分析

运用高选择比的特别配方来释放MEMS可变电容制作工艺中的牺牲层，以保护上级板金属铝层．同时很好地释放牺牲层磷硅玻璃。探讨了上级板......

期刊

MEMS可变电容牺牲层释放工艺残余应力磷硅玻璃 MEMS variable capacitor release process of sacrifici

RF MEMS可变电容及压控振荡器的研究

近年来，随着无线通信系统的飞速发展，对低相位噪声压控振荡器(VCO)的需求也同益增加。VCO的调谐能力通常由可变电容来实现，要获得低相......

学位

RF MEMS可变电容 Q值压控振荡器单边带相位噪声双稳态压膜阻尼机械热噪声

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