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MEMS工艺制备相关论文
一种二维MEMS扫描微镜结构动力学及制备工艺研究
二维MEMS微镜通过改变入射激光的出射角度,经物体反射、接收并处理,获取空间物体的三维信息。车载激光雷达的应用环境要求微镜具有......
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动力学模型
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SOI高温压力传感器设计及制备技术研究
在高温恶劣环境下,气体压力参数的敏感测试由于敏感头的机械结构功能退化、连接引线高温失效等问题,是无法进行实时动态测量的。因此......
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SOI
耐高温设计
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