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InP上等离子增强化学汽相淀积SiO_2膜及其MIS结构C-V特性研究
本文研究了利用正硅酸乙酯在InP上等离子增强化学汽相淀积SiO_2膜的方法.研究了InP表面处理对SiO_2-InP界面的影响.测量分析了SiO_......
期刊
化学汽相淀积
InP
MIS结构C-V
SiO_2
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