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静电偏转系统象差的计算和静电MOL系统的研究
一、引言 近年来,随着高亮度离子源的出现,微米、亚微米聚焦离子束装置迅速发展起来。其应用范围也不断扩大,包括:扫描离子显微镜......
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静电偏转
MOL系统
系统象差
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