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为了测试微观条件下材料表面的摩擦学性能,给出了一种微摩擦力的光学测试方法.基于MEMS工艺制作了硅微力传感器,通过标定的方法得......
微机械构件表面的微摩擦不同于宏观摩擦,也不同于原子力/摩擦力显微镜探针与基片之间的微摩擦,因此,宏观或微观摩擦实验仪器对于微......
随着ＭＥＭＳ技术的发展，人们迫切需要对微观世界的摩擦现象进行研究测试，以求发现宏观与微观世界中摩擦现象的联系和区别，但由于测试条件的限......
