Microsensors相关论文
在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测、闭环自激电路的小型化和抗干扰等问题十分突出.复合音叉微小型谐振式压......
介绍了微传感器及其理论基础,讨论了开环与闭环过程控制的主要优缺点与微传感器接口的主要功能。......
在微电子、微机械和微光学的基础上,休成传感器,执行器和信号处理单元于一体的微系统技术,是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在......