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超精密平面磨削的微量进给及其控制研究
本文采用压电陶瓷作为控制元件,设计出一种能够对空气轴承实现0.01μm的微量进给装置,并提出了导轨误差的神经网络补偿控制算法,实验结果及......
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微量进给
补偿控制
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超精密磨削
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