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Mo(CO)_6相关论文
羰基钼化学气相沉积对模具表面改性的研究
以Mo(CO) 6 为物源在刀具钢回火温度以下实施了气相沉积超硬膜涂覆 ,经实验测试、分析 ,结果表明薄膜中含碳量是影响薄膜表观硬度......
期刊
Mo(CO)_6
化学气相沉积
表面改性
碳含量
表观硬度
回火温度
使用寿命
刀具
气相沉积
薄膜
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