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Mn掺杂Ga2O3薄膜的结构及光吸收性能研究
采用磁控溅射法在Si(111)和玻璃衬底上制备出不同Mn掺杂含量的Ga2O3薄膜,使用扫描电子显微镜、电子能谱仪、X射线衍射仪、紫外-可见分......
期刊
Ga2O3薄膜
MN掺杂
磁控溅射
微观结构
光吸收性能
Ga2O3 thin film
Mrr-doping
magnetron sputtering
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