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Ni80 Fe20薄膜的参数对其各向异性电阻率的影响
用C6型电子束真空镀膜仪,在不同沉积束流、不同基片温度下制备Ni80 Fe20薄膜,并对室温沉积的薄膜样品在不同温度下进行真空退火处理,......
期刊
Ni80
Fe20薄膜
电子束蒸发
各向异性电阻率AMR
束流
退火
Ni80 Fe20 film
electronic beam evaporation
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