利用 Ｐ－ＣＶＤ法在 Ｐ—ｎ硅太阳能电池上面形成非晶氮化硅防反射膜。利用改变 Ｐ－ＣＶＤ的工作参数很容易控制 ａ－ＳｉＮ－ＡＲＣ膜的反射指数，所以理论上可以形成很匹配的......