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P-SiN相关论文
等离子体CVD法在P-SiN膜太阳能电池中的应用
利用 P-CVD法在 P—n硅太阳能电池上面形成非晶氮化硅防反射膜。利用改变 P-CVD的工作参数很容易控制 a-SiN-ARC膜的反射指数,所以理论上可以形成很匹配的......
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