该论文主要工作包括硅基电容式微传声器及其外围电路的研制以及器件与电路的性能测试分析.主要研究结果如下:通过建立有限元分析模......

通过对P沟结型场效应管（PJFET）与双极电路兼容的工艺技术攻关，解决了PJFET与双极电路兼容的技术难点，研制出一种偏置电流小的P沟结型场......

通过对PJFET与双极兼容工艺技术的研究，解决了PJFET和双极兼容工艺中的技术难点，得到了IDSS=150-350μA（W／L=10：1）、Vp=0．8～1．2V、IGSS=10^-......