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PTPZTPT相关论文
退火气氛对硅基Pt/PZT/Pt铁电电容器结构和性能的影响
在室温条件下,采用溶胶凝胶方法在Pt基片上制备了Pt/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(PZT)/Pt电容器,而后样品在氧气和氮气的混合气氛中进行快速......
会议
Pt/PZT/Pt
溶胶-凝胶法
退火气氛
电学性能
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