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化学气相渗(CVI)碳化硅工艺研究
对均热法、热梯度法和压差-温度梯度法三种化学相渗SiC工艺进行了研究,结果表明:三种方法制备周期依次缩短。均热法适合制备形状复杂的样......
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化学气相渗
CVI
碳化硅
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