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Si基HgCdTe液相外延技术研究
本论文主要研究在Si基CdTe复合衬底上通过液相外延技术生长HgCdTe外延材料。 研究Si基碲镉汞外延技术的目的是为了获得超大规......
学位
硅基衬底
液相外延
HgCdTe外延材料
红外焦平面
P型热处理
位错密度
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