利用射频等离子体增强化学气相沉积（RF—PECVD）技术，以B2H6为掺杂剂，在玻璃衬底上制备了厚度为40nm左右的P型微晶硅薄膜。为获得高电导......

本文采用平板式电容耦合射频（RF，13．56MHz）等离子体源，以乙二醇二甲基醚（Ethylene Glycol DiMethyl Ether）为聚合单体，氩气为辅助气体，在连......