用射频等离子体增强热丝化学气相沉积（ＲＦ－ＨＦＣＶＤ）技术在Ｓｉ，Ｎｉ衬底表面合成了ｃ－ＢＮ膜，结果表明，热丝温度，衬底温度等工艺参量及衬底材料的结构特性是影响ｃ－ＢＮ薄膜......

采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积(RF-HFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了高质量的纳米金刚石薄膜.研究了衬底温度、反应气......