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光刻用有机金浆研究

光刻有机金浆是以金的树脂酸盐为主，酸以有关的贵、贱金属的树脂酸盐等制成。这种浆料分散性好，纯度高，烧制成的金膜薄而致密，覆盖率高......

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有机浆料树脂酸盐光刻金集成电路 organic ink resinate photofaebrication

光刻有机金浆的制备

光刻有机金浆的制备郎彩，李世鸿，张樱，杜红云（昆明贵金属研究所，昆明６５０２２１）主题词浆料，树脂酸盐，光刻有机金浆分类号ＴＱ１３１．２３ＳｔｕｄｙｏｎＯｒｇａｎｉｃＧｏｌｄＰａｓｔｅｆｏｒＰｈｏｔｏｅｔｃｈｉｎｇ￥ＬａｎｇＣａｉ；ＬｉＳｈｔｈｏｎｇ.........

期刊

金浆料树脂酸盐金浆光刻有机金浆 Paste Resinate Photoetching Gold

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