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本文研究了低温(550℃)退火对于SIMOX结构形成的影响。实验中发现:低温退火制备的SIMOX结构与高温(1100℃)退火制备的有明显不同。......
本文报道了一种形成ＳＩＭＯＸ结构的等离子体当浸没离子注入的新技术，与传统的离子注入相比，这种新技术具有高离子束流，大面积离子注入，极短的注......
